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TCZ发布立体显示器制造用的高温多晶硅结晶设备

作者:何同一 2018年03月10日 国内新闻

TCZ公司面向制造立体显示器(FPD)发布一种创新型消费工具TCZ-900X。该公司是美国Cymer公司与德国卡尔蔡司SMT公司组成的一家合资企业。应用Cymer公司取得专利的激光技术和卡尔蔡司SMT公司在光学与精细工程方面著名的专门技术,这种先进的TCZ-900X制造工具用于协助高温多晶硅(LTPS)显示器厂商进步量产产出效率和降低雷射结晶本钱。

显示器指导厂商三星电子公司副总经理C.W.金说,“在这个市场中,本钱与质量对显示器厂商来说十分重要。改善显示器功能,并同时进步消费良率的技术将最终推进平板显示器(FPD)业向前开展。”

TCZ-900X关于诸如准分子雷射退火(ELA)与延续侧向结晶(SLS)等现有结晶技术提供一种出色的选择的方案,并提供显示器厂商近期与临时效益的结合,例如:凭仗放慢直接大规模集成驱动电子直接与高温多晶硅结合,以降低面板本钱和进步面板的功能;凭仗降低驱动电压、及更小薄膜晶体管(TFT)开关来到达高图像分辨率与增加耗电率;分摊设备本钱与工艺技术,由于TCZ-900X支持自动矩阵液晶显示器(AMLCD),零碎集成面板(SOP)和下一代无机光发射安装(OLED)显示器。该工具能以细长光束(~5微米)一次曝光的扫过整片面板(宽720mm),有助于进步量产产出才能并具有良好的晶体平均性。另外,它还完成了较平整化的立体规划(没有(SLS)所惹起的垂直凹陷物)使闸极氧化层更易量产,进一步降低面板消费本钱。

TCZ率先完成细光束无方向性结晶工艺设备的商业化,以高的量产产出才能,并提供高载子挪动率的高温多晶硅。TDX-900X设备业务将会由散布在韩国、日本、台湾及中国的TCZ客户效劳架构来支持。

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