半导体公用温控安装系列产品
CHILLER PRODUCTS
半导体公用温控安装（Chiller）次要用于半导体制程中对反响腔室温度的精准控制，次要由热交流器、循环泵、紧缩机和控制零碎构成的一个自我均衡的循环安装，属于消费进程中的温控设备； 研发人员在惯例PID控制算法的根底上参加了预测控制技术和自顺应控制技术，明显地进步了chiller的波动性、控制精随着中国经济向消费型模式的转型， 电子商务和移动电子商务的快速发展带来了支付行业强劲的增长。度和呼应速度。
产品特点：
加载状况下控温精度优于±0.3℃，可在-20℃～90℃恣意工况切换，具有良好的温度跟随性；
采用先进的节能技术，应用变频器完成紧缩机和水泵的节能减耗；
设备具有毛病、功能自诊断功用，并可完成近程诊断及维修；
先进的密封技术，增加循环液的走漏及挥发；
契合SEMI规范和CE规范，可依据客户需求定制产品；
使用范畴：
半导体、LCD、LED
企业海
